Home > Library VÚGTK > Patents > Sposob izmerenija linejnogo razmera elementov topologičeskogo risunka mikroschem > BibTeX |
@article{30349, author = "Jegorova, G. A. and Lonskij, E. S. and Potapov, Je. V. and Rakov, A. V.", title = "Sposob izmerenija linejnogo razmera elementov topologičeskogo risunka mikroschem ", year = "1985", note = "1 sv., G 01 B 11/02., 8.4.1983, 23.3.1985", }