Sposob izmerenija linejnogo razmera elementov topologičeskogo risunka mikroschem
Jegorova, G. A. ; Lonskij, E. S. ; Potapov, Je. V. ; Rakov, A. V.

Signatura: SSSRPAT1146549
Publikováno: [S.l.]: [s.n.], 1985


Rozsah: 4 s., 2 obr.
Klíčová slova: patenty
Typ publikace: patenty
Poznámky: 1 sv., G 01 B 11/02., 8.4.1983, 23.3.1985

Záznam se nachází v těchto sbírkách:
Knihovna VÚGTK > Patentová literatura
Monografie

 Záznam vytvořen 2014-01-11, poslední editace 2018-11-27



Hodnotit tento dokument:

Rate this document:
1
2
3
 
(Ještě nerecenzováno)