Hlavní stránka > Knihovna VÚGTK > Patentová literatura > Sposob izmerenija linejnogo razmera elementov topologičeskogo risunka mikroschem |
Signatura: SSSRPAT1146549
Publikováno: [S.l.]: [s.n.], 1985
Rozsah: 4 s., 2 obr.
Klíčová slova: patenty
Typ publikace: patenty
Poznámky: 1 sv., G 01 B 11/02., 8.4.1983, 23.3.1985
Záznam se nachází v těchto sbírkách:
Knihovna VÚGTK > Patentová literatura
Monografie